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J-GLOBAL ID：200903010911143241

電子顕微鏡装置

Inventor： 木本 高義
Applicant, Patent owner： 科学技術庁金属材料技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999342406
Publication number (International publication number)：2000133189
Application date： Sep. 28, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 低温および高温環境下でも高分解能で試料の観察を行なうことのできる、新しい電子顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 被観察試料の温度制御が行われる電子顕微鏡装置において、前記試料を冷却する冷却物質の流通手段とともに、冷却物質調整手段、たとえば循環制御装置(29)が備えられており、冷却物質調整手段により冷却物質の流量が調整されて、試料の温度制御が行なわれるようにする。

Claim (excerpt)：

被観察試料の温度制御が行われる電子顕微鏡装置において、前記試料を冷却する冷却物質の流通手段とともに、冷却物質調整手段が備えられており、冷却物質調整手段により冷却物質の流量が調整されて、試料の温度制御が行なわれることを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (4)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/244

FI (4)：

H01J 37/20 E ,  H01J 37/22 501 D ,  H01J 37/22 501 Z ,  H01J 37/244

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 試料冷却システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-277695   Applicant：日本電子株式会社
• 電子顕微鏡用加熱装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-164128   Applicant：財団法人ファインセラミックスセンター, ニチデン機械株式会社
• 特開平3-011540