ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994158400
Publication number (International publication number)：1996022118
Application date： Jul. 11, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【構成】ポリベンゾオキサゾール前駆体(A)、シリコーンジアミンを全ジアミンの30モル%以上を含むポリアミド酸(B)および下記式の感光性ジアゾキノン(C)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物において、各成分の配合割合が重量比で(B)/(A)=(1〜100)/100、(C)/(A)=(1〜100)/100であるポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【効果】シリコンウェハー等の基板との密着性に優れ、かつ現像時において高残膜率のパターンを得ることができる。

Claim (excerpt)：

ポリベンゾオキサゾール前駆体(A)、一般式(1)で表せられる構造のジアミンを全ジアミンの30モル%以上を含むポリアミド酸(B)および一般式(2)で表される感光性ジアゾキノン(C)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物において、各成分の配合割合が重量比で(B)/(A)=(1〜100)/100、(C)/(A)=(1〜100)/100であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (6)：

G03F 7/004 501 , C08K 5/28 , C08L 79/04 LQZ , C08L 79/08 LRB , G03F 7/022 , G03F 7/037

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開平4-031860
ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-165320 Applicant：住友ベークライト株式会社
特開平4-046345

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