耐食性複合部材

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高山宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999207161
Publication number (International publication number)：2001031484
Application date： Jul. 22, 1999
Publication date： Feb. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】ハロゲン系腐蝕ガスまたはハロゲンガスプラズマに対する耐性が高く、しかも大型部品に適した耐食性複合部材を提供すること。【解決手段】熱膨張率が7×10-6〜12×10-6で誘電損失が5×10-3以下の支持体と、その上に形成され、希土類酸化物を50重量%以上含む耐食性層とにより複合部材を構成する。そして、その耐食性膜がハロゲン系腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマに曝される部位を構成する。

Claim (excerpt)：

熱膨張率が7×10-6〜12×10-6で誘電損失が5×10-3以下の支持体と、その上に形成され、希土類酸化物を50重量%以上含み、ハロゲン系腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマに曝される部位を構成する耐食性膜とを有することを特徴とする耐食性複合部材。

IPC (3)：

C04B 41/87 , C23F 4/00 , H01L 21/3065

FI (3)：

C04B 41/87 J , C23F 4/00 A , H01L 21/302 B

F-Term (10)：

4K057DD01 , 4K057DE01 , 4K057DE06 , 4K057DE11 , 4K057DM01 , 4K057DM35 , 4K057DM40 , 4K057DN01 , 5F004AA16 , 5F004BB29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

耐食性部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-201566 Applicant：京セラ株式会社
耐プラズマ部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-080657 Applicant：京セラ株式会社
高周波用低損失誘電体材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-169537 Applicant：京セラ株式会社

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