耐食性部材

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996201566
Publication number (International publication number)：1998045461
Application date： Jul. 31, 1996
Publication date： Feb. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】従来のガラス、石英、ステンレス、アルミナ、AlNの焼結体は、耐食性が不十分であるのに対して、周期律表表第2a族及び第3a族元素化合物は、高い耐食性を示すが、特性が不安定であった。【解決手段】フッ素系や塩素系などのハロゲン性腐食ガス或いはそれらのプラズマに曝される部位を、周期律表第2a族、第3a族元素のうちの少なくとも1種を含む、例えば酸化物、スピネル、コージェライト、YAG、シリケートなどの複合化合物を主体とし、その表面粗さ(Ra)が1μm以下、気孔率が3%以下のセラミック焼結体によって構成する。

Claim (excerpt)：

フッ素系や塩素系などのハロゲン性腐食ガス或いはそれらのプラズマに曝される部位が、周期律表第2a族、第3a族元素のうちの少なくとも1種を含む化合物を主体とし、その表面粗さ(Ra)が1μm以下、気孔率が3%以下のセラミック焼結体によって構成されることを特徴とする耐食性部材。

IPC (10)：

C04B 35/00 , B01J 19/02 , C04B 35/195 , C04B 35/16 , C04B 35/44 , C04B 35/443 , C04B 35/56 , C04B 35/58 101 , C04B 35/58 105 , H01L 21/3065

FI (10)：

C04B 35/00 H , B01J 19/02 , C04B 35/58 101 A , C04B 35/58 105 A , C04B 35/16 A , C04B 35/16 Z , C04B 35/44 , C04B 35/44 101 , C04B 35/56 A , H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

化学的攻撃ガス環境に露出されるプラズマ処理室の加熱金属表面用セラミック保護及びその加熱金属表面の保護方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-056134 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
特開平4-233154
アルミナ質ベルジヤ-
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-016149 Applicant：東芝セラミックス株式会社

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