耐プラズマ部材

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997080657
Publication number (International publication number)：1998275524
Application date： Mar. 31, 1997
Publication date： Oct. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下において優れた耐プラズマ性を有するとともに、マイクロ波の透過性に優れる窒化アルミニウム焼結体からなる耐プラズマ部材を提供する。【解決手段】フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝された基体を、窒化アルミニウムを主体とし、その平均結晶粒子径が3μm以上であって、かつマイクロ波帯域の誘電損失が1×10-2以下である窒化アルミニウム焼結体により形成する。

Claim (excerpt)：

フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝される基体を、窒化アルミニウムを主体とし、その平均結晶粒子径が3μm以上であって、かつマイクロ波帯域の誘電損失が1×10-2以下である窒化アルミニウム焼結体により形成したことを特徴する耐プラズマ部材。

IPC (11)：

H01B 3/12 327 , H01B 3/12 337 , C04B 35/581 , C23C 14/34 , C23C 16/50 , C23F 4/00 , H01L 21/203 , H01L 21/68 , H05H 1/46 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (11)：

H01B 3/12 327 , H01B 3/12 337 , C23C 14/34 H , C23C 16/50 , C23F 4/00 A , H01L 21/203 S , H01L 21/68 R , H05H 1/46 C , H01L 21/205 , C04B 35/58 104 Y , H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

耐蝕性部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-058727 Applicant：日本碍子株式会社
マイクロ波導入窓材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-131907 Applicant：住友金属工業株式会社
窒化アルミニウム配線基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-342986 Applicant：京セラ株式会社

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