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J-GLOBAL ID：200903011765887540

熱型赤外線検出素子

Inventor：
佐々木 得人

About 佐々木 得人


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 宮本 恵司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005042222
Publication number (International publication number)：2006226891
Application date： Feb. 18, 2005
Publication date： Aug. 31, 2006
Summary：
【課題】入射赤外線の吸収効率を高めて感度を向上させることができる熱型赤外線検出素子の構造、特に、受光部を構成する赤外線吸収体の構造の提供。【解決手段】受光部11の赤外線入射面側の表面に赤外線吸収材料からなる略同一形状の複数の突起が略一定の間隔で配列された凸状パターン15を形成したり、赤外線入射面側の表面に配置される赤外線吸収膜に略同一形状の複数の孔が略一定の間隔で配列された凹状パターンを形成し、凸状パターン15や凹状パターンで受光部11に入射する赤外線を分散させる。これにより赤外線の反射を抑制し、赤外線の吸収効率を高めて熱型赤外線検出素子の感度を向上させる。また、この凸状パターン15は一般的な半導体製造装置を用いて形成可能であり、直下の赤外線吸収膜との密着性に優れているため、熱型赤外線検出素子の信頼性や均一性を向上させることもできる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
感熱抵抗体と赤外線吸収体とを備える受光部が、一端が基板に固定される梁によって中空に保持されてなる熱型赤外線検出素子において、 前記受光部の赤外線入射面側の表面に、赤外線吸収材料からなる略同一形状の複数の突起が略一定の間隔で配列された凸状パターンが形成されていることを特徴とする熱型赤外線検出素子。
IPC (3)：
G01J 1/02 ,  G01J 5/20 ,  H01L 37/00
FI (3)：
G01J1/02 C ,  G01J5/20 B ,  H01L37/00
F-Term (6)：
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BC12 ,  2G066BA08 ,  2G066CA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 熱型赤外線検出器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-259796   Applicant：日本電気株式会社
Cited by examiner (3)

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