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J-GLOBAL ID：200903011820642276

カーボンナノチューブの合成方法

Inventor： 李 鉄真 ,  柳 在銀
Applicant, Patent owner： 李 鉄真 ,  株式会社日進ナノテック
Agent (1)： 服部 雅紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000175498
Publication number (International publication number)：2001020071
Application date： Jun. 12, 2000
Publication date： Jan. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】 熱化学気相蒸着法によって大面積基板上に垂直整列された高純度カーボンナノチューブの大量合成方法を提供する。【解決手段】 蝕刻工程を用いて基板上に分離されたナノサイズの触媒金属粒子を形成した(30段階)後、カーボンソースガスを用いた熱化学気相蒸着法で基板に垂直整列された高純度のカーボンナノチューブを成長させる(40段階)。次に、選択的にカーボンナノチューブの合成段階後にイン-シチュでカーボンナノチューブを精製する(60段階)。

Claim (excerpt)：

基板上に触媒金属膜を形成する段階と、前記触媒金属膜を蝕刻して分離されたナノサイズの触媒金属粒子を形成する段階と、熱化学気相蒸着装置内へカーボンソースガスを供給して熱化学気相蒸着法で前記分離されたナノサイズの触媒金属粒子毎にカーボンナノチューブを成長させて基板上に垂直に整列した複数個のカーボンナノチューブを形成する段階とを含むことを特徴とするカーボンナノチューブの合成方法。

IPC (6)：

C23C 16/26 ,  B01J 23/745 ,  B01J 23/75 ,  B01J 23/755 ,  B82B 3/00 ,  C01B 31/02 101

FI (6)：

C23C 16/26 ,  B82B 3/00 ,  C01B 31/02 101 F ,  B01J 23/74 301 M ,  B01J 23/74 311 M ,  B01J 23/74 321 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• グラファイトファイバーの作成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-210161   Applicant：新技術事業団, 菊地理恵, 大木芳正
• カーボンナノチューブの製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-008461   Applicant：キヤノン株式会社
• カーボン・ナノチューブの精製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-145242   Applicant：日本電気株式会社