走査形電子顕微鏡

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993334894
Publication number (International publication number)：1995192679
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は電子線装置に係り、特に低加速電圧において試料から発生した二次電子と反射電子を分離または合成して検出し、高分解能像を得るのに好適な走査電子顕微鏡及びその類似装置に関する。【構成】本発明の走査形電子顕微鏡においては、電子源から試料までの光学系上に、試料から生じた反射電子および二次電子の軌道を分離する電磁界を設け、そして生じた反射電子の軌道上にこの反射電子を検出する反射電子検出器を設けたものである。【効果】本発明によれば、数kV以下の低加速電圧でも二次電子と反射電子を分離して効率よく検出でき、しかも、検出器による一次電子線の偏向作用が生じないので、高分解能な反射電子像および二次電子像が得られる効果がある。

Claim (excerpt)：

電子源から放出された一次電子線を試料上で走査することにより該試料の走査像を得る走査形電子顕微鏡において、前記試料から電子源の間に前記試料からの反射電子および二次電子の軌道を分離する電磁界を設け、かつ前記反射電子の軌道上に該反射電子を検出する反射電子検出器を設けたことにより、前記試料からの反射電子を検出することを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/244 , H01J 37/05 , H01J 37/22 502

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開平2-142045
特開平4-043540
特開平4-067550

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Cited by examiner (6)

特開平2-142045
特開昭63-069135
特開平4-043540

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