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J-GLOBAL ID：200903011941914915

導電性硬質炭素皮膜

Inventor： 入江 美紀 ,  内海 慶春 ,  大原 久典
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 鎌田 文二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001131095
Publication number (International publication number)：2002327271
Application date： Apr. 27, 2001
Publication date： Nov. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】 良好な耐摩耗性、耐酸化性及び耐食性を有し、導電性部材同士の接触する用途や工程、又は腐食環境下において用いられる導電性硬質炭素皮膜及びその被覆部材を提供することを目的とする。【解決手段】 SP2結合性結晶の少なくとも一部が、膜厚方向に連続的に連なった構造を有する導電性硬質炭素皮膜を用いる。

Claim (excerpt)：

SP2結合性結晶の少なくとも一部が、膜厚方向に連続的に連なった構造を有する導電性硬質炭素皮膜。

IPC (5)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  C01B 31/02 ,  C01B 31/04 101 ,  C23C 14/06

FI (5)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 F ,  C01B 31/02 101 Z ,  C01B 31/04 101 Z ,  C23C 14/06 F

F-Term (27)：

4G046CA02 ,  4G046CB00 ,  4G046CB03 ,  4G046CB09 ,  4G046CC06 ,  4K029BA02 ,  4K029BA07 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC03 ,  4K029BD03 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DB05 ,  4K029DB17 ,  4K029DC05 ,  4K029DD06 ,  4K030AA10 ,  4K030BA27 ,  4K030BB01 ,  4K030FA03 ,  4K030KA20 ,  4K030LA01 ,  4K030LA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 硬質薄膜の製造方法および硬質薄膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-183644   Applicant：高井治
• 炭素被覆、炭素被覆を施す方法および装置、およびその様な被覆を施した物品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-339168   Applicant：ティーアコーティングズリミテッド
• 電界電子放出装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-006888   Applicant：株式会社ノリタケカンパニーリミテド, 財団法人ファインセラミックスセンター
• 特開昭60-127210