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J-GLOBAL ID：200903012242613086

感光性樹脂組成物

Inventor：
高木 良博

About 高木 良博


Applicant, Patent owner：
富士フイルムアーチ株式会社

About 富士フイルムアーチ株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000054145
Publication number (International publication number)：2001242617
Application date： Feb. 29, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：
【要約】【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、高感度であり、絶縁性、平坦性、耐熱性、耐溶剤性、透明性等の諸特性に優れるとともに、低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びその処理方法を提供すること。【解決手段】スチレンとマレイン酸アミドの2成分を少なくとも含有する共重合体と重合性単量体、光重合開始剤、及びフッ素化合物を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。前記ネガ型感光性樹脂組成物を、塗布、露光、アルカリ現像後、超高圧マイクロジェットで水洗することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物の処理方法。
Claim (excerpt)：
スチレンとマレイン酸アミドの2成分を少なくとも含有する共重合体と重合性単量体、光重合開始剤、及びフッ素化合物を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (12)：
G03F 7/004 501 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F257/02 ,  C08F267/10 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/08 ,  C08L 63/00 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027
FI (12)：
G03F 7/004 501 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F257/02 ,  C08F267/10 ,  C08K 5/00 ,  C08L 25/08 ,  C08L 63/00 A ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (93)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA18 ,  2H025AA20 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC43 ,  2H025CB10 ,  2H025CB16 ,  2H025CB23 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA39 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA17 ,  4J002BC04W ,  4J002BH01W ,  4J002CD12X ,  4J002EL026 ,  4J002EN026 ,  4J002GP03 ,  4J011PA23 ,  4J011PA24 ,  4J011PA25 ,  4J011PA26 ,  4J011PA28 ,  4J011PA30 ,  4J011PA35 ,  4J011PA36 ,  4J011PA65 ,  4J011PA70 ,  4J011PA86 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA42 ,  4J011RA04 ,  4J011RA10 ,  4J011SA02 ,  4J011SA05 ,  4J011SA06 ,  4J011SA12 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA28 ,  4J011SA29 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA42 ,  4J011SA54 ,  4J011SA58 ,  4J011SA64 ,  4J011SA74 ,  4J011SA76 ,  4J011SA78 ,  4J011SA86 ,  4J011SA87 ,  4J011TA04 ,  4J011TA07 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA57 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA41 ,  4J026DB09 ,  4J026DB15 ,  4J026DB36 ,  4J026GA06 ,  4J026GA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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