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J-GLOBAL ID：200903012330940836
石英ガラス製治具の表面処理方法及び表面処理された治具
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996009715
Publication number (International publication number)：1997202630
Application date： Jan. 24, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 本発明は、半導体ウエハーの熱処理に使用される石英ガラス製治具の製造時及び/または熱処理理時に生じる異物やマイクロクラックを完全に除去して、処理治具の表面をクリーンで強度低下の要因の無い状態にすることにより、半導体ウエハーの汚染を防止し、処理治具の耐久性を向上させることのできる表面処理方法及び処理治具を提供する。【解決手段】 本発明の石英ガラス製熱処理用治具の表面処理方法は、半導体ウエハーの処理に用いられる石英ガラス製治具の表面に存在する異物及び/またはマイクロクラックを、物理的方法で治具の表面に凹凸処理を施すことにより除去する。また、この方法で処理治具表面に凹凸処理を行った後に、さらにエッチング処理を施し、さらにまた熱による表面溶融処理を行う。本発明の石英ガラス製治具は、これらの方法によって表面処理された治具である。
Claim (excerpt)：
半導体ウエハーの処理に用いられる石英ガラス製治具の表面に存在する異物及び/またはマイクロクラックを、物理的な方法で凹凸処理することにより除去することを特徴とする石英ガラス製治具の表面処理方法。
IPC (5)：
C03B 20/00
, B24C 1/04
, C03C 19/00
, H01L 21/22 501
, H01L 21/304 301
C03B 20/00
, B24C 1/04 F
, C03C 19/00 A
, H01L 21/22 501 M
, H01L 21/304 301 S
