光カンチレバーとその製造方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998320768
Publication number (International publication number)：2000146807
Application date： Nov. 11, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】微小開口から光を照射および/または検出するSNOM用光カンチレバーであって、量産性、均一性に優れており、柔らかい試料でも損傷を与えることなく高速に観察することができる光カンチレバーを得る。【解決手段】本発明では、基部1と、前記基部1からのびるカンチレバー部2と、前記カンチレバー部2を貫通し、前記基部とは反対側のカンチレバー上に突出するよう形成され、その先端が先鋭化された誘電体の光伝搬部5および光伝搬ティップ3と、前記先鋭化された誘電体の周りを覆う遮光膜6と、前記先鋭化された誘電体の先端に形成された微小開口4とからなることを特徴とする光カンチレバーとした。

Claim (excerpt)：

基部と、前記基部からのびるカンチレバー部と、前記カンチレバー部を貫通し、前記基部とは反対側のカンチレバー上に突出するように形成され、その先端が先鋭化された誘電体と、前記先鋭化された誘電体の周りを覆う遮光膜と、前記先鋭化された誘電体の先端に形成された微小開口とからなることを特徴とする光カンチレバー。

IPC (3)：

G01N 13/16 , G01N 13/14 , G01B 21/30

FI (3)：

G01N 37/00 G , G01N 37/00 E , G01B 21/30 Z

F-Term (8)：

2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH05 , 2F069JJ15 , 2F069LL03 , 2F069LL04 , 2F069MM38

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

集積型SPMセンサ及び走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-164576 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平1-262403
プローブ製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-044553 Applicant：富士通株式会社

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Cited by examiner (6)

集積型SPMセンサ及び走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-164576 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平1-262403
集積型SPMセンサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-045639 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

Operation of a scanning near field optical microscope in reflection in combination with a scanning f

Cited by examiner (1)

Operation of a scanning near field optical microscope in reflection in combination with a scanning f

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