集積型SPMセンサ及び走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：最上健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995164576
Publication number (International publication number)：1996334521
Application date： Jun. 08, 1995
Publication date： Dec. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】小型で簡単な構成で反射モードでの非透明試料のSNOM測定が可能な集積型SPMセンサ及び走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】 N型シリコンで形成されたカンチレバー部201 と、該カンチレバー部201 の自由端近傍に形成された光透過口202 に配設された窒化シリコン等の光透過性部材からなる錐状探針211 と、カンチレバー部201 の所定部分にP型不純物を拡散して形成されたフォトダイオードからなる光センサ部204 と、カンチレバー部201 の基部に設けられたガラス等からなる支持部203 と、Al 等からなる光センサ用配線205,206 とで集積型SPMセンサを構成する。そして、錐状探針211 には試料照射用レーザ光が側面より漏れないように、光不透明膜212 が形成されている。

Claim (excerpt)：

支持部より延びたカンチレバー上に光センサを集積化すると共に、該カンチレバーの自由端近傍に光透過部を形成して構成したことを特徴とする集積型SPMセンサ。

IPC (2)：

G01N 37/00 , G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 E , G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

光プローブ素子、光プローブ素子を用いた記録再生装置、および光プローブ素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-121710 Applicant：シャープ株式会社
特開平4-322465
特開平4-286360

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