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J-GLOBAL ID：200903012588856368

汚染物質の固体表面吸着評価方法

Inventor： 石割 修一 ,  加藤 治夫
Applicant, Patent owner： 日立プラント建設株式会社 ,  株式会社日立製作所
Agent (1)： 村上 友一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000078650
Publication number (International publication number)：2001264295
Application date： Mar. 21, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 前処理の取り扱いや評価を簡便にすることができるとともに、運搬・保管等に際して試験片の汚染を防止することができ、ウェハそのものを用いながら従来必要とした大型機器を不要とし、高精度に測定、評価できる汚染物質の固体表面吸着評価方法を提供する。【解決手段】 被加工材料と同一材料の試験片をガスクロマト質量分析装置に装着できる吸着管容器に収容できるサイズに作製する。この試験片は清浄室内の雰囲気中の被測定個所に所定時間放置された後に回収される。回収された試験片はガスクロマト質量分析装置(GC-MS装置)に導入して汚染物質材料および汚染物質量を測定して被測定個所の汚染度を評価する。

Claim (excerpt)：

被加工材料と同一材料の試験片を質量分析装置に装着される吸着管容器に収容可能なサイズに作製し、該試験片を検査雰囲気中の測定個所に所定時間放置した後に回収して前記吸着管容器に収容し、前記試験片を収容した吸着管容器ごと質量分析装置に装着して汚染物質材料および汚染物質量を測定して被測定個所の汚染度を評価することを特徴とする汚染物質の固体表面吸着評価方法。

IPC (3)：

G01N 27/62 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/02

FI (3)：

G01N 27/62 C ,  G01N 1/00 101 B ,  G01N 1/02 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• シリコンウエハの加熱装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-195433   Applicant：大成建設株式会社
• 微量有機物分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-211513   Applicant：ソニー株式会社