微量有機物分析装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：船橋國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995211513
Publication number (International publication number)：1997061321
Application date： Aug. 21, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】分析試料を設置するまでの間、分析試料が大気に曝されることなく、清浄空気にのみ曝されるようにした微量有機物分析装置の提供が望まれている。【解決手段】分析試料を出入りさせるための開口部を有した試料設置室2と、試料設置室2に接続されて分析試料の有機物を分析するための分析装置本体3とを備えた微量有機物分析装置20である。試料設置室2の開口部2aに連通して準備室21が設けられている。有機ガス除去フィルタを通過した清浄空気を準備室21内に導入する清浄空気導入機構22が設けられている。

Claim (excerpt)：

分析試料を出入りさせるための開口部を有した試料設置室と、該試料設置室に接続されて前記分析試料の有機物を分析するための分析装置本体とを備えた微量有機物分析装置において、前記試料設置室の開口部に連通して準備室が設けられ、有機ガス除去フィルタを通過した清浄空気を前記準備室内に導入する清浄空気導入機構が設けられたことを特徴とする微量有機物分析装置。

IPC (9)：

G01N 1/34 , G01N 27/62 , G01N 30/04 , G01N 30/08 , G01N 30/14 , G01N 30/16 , G01N 30/72 , G01N 30/88 , H01L 21/66

FI (9)：

G01N 1/34 , G01N 27/62 C , G01N 30/04 A , G01N 30/08 G , G01N 30/14 Z , G01N 30/16 K , G01N 30/72 A , G01N 30/88 C , H01L 21/66 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

大気圧昇温ガス脱離装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-229894 Applicant：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
空気洗浄方法および高純度シリコンフイルター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-217340 Applicant：富士通株式会社
特開昭62-011132

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