固体撮像素子

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：船橋國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997134612
Publication number (International publication number)：1998326885
Application date： May. 26, 1997
Publication date： Dec. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】集光効率を高めて感度向上を図ると共に、受光センサ部上に遮光膜を設けることなくスミアをなくすようにした固体撮像素子の提供が望まれている。【解決手段】シリコン基板(基体)2の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部3と、受光センサ部3から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部5と、シリコン基板2上に絶縁膜を介して設けられた転送電極8、10とを備えてなる。受光センサ部3上における、転送電極8、10の側壁面にはこれを覆って層間絶縁膜11が設けられている。層間絶縁膜11に囲まれた箇所には透明膜12が埋め込まれている。透明膜12の屈折率は、層間絶縁膜11の屈折率より大である。

Claim (excerpt)：

基体の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部と、該受光センサ部から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部と、前記基体上の、前記電荷転送部の略直上位置に絶縁膜を介して設けられた転送電極とを備えてなり、前記受光センサ部上における、前記転送電極の側壁面に該側壁面を覆って層間絶縁膜が設けられ、かつ前記受光センサ部上における、前記層間絶縁膜に囲まれた箇所に透明膜が埋め込まれ、前記透明膜の屈折率が、層間絶縁膜の屈折率より大であることを特徴とする固体撮像素子。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

固体撮像素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-011782 Applicant：シャープ株式会社
特開平4-343470
固体撮像素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-014515 Applicant：シャープ株式会社

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