金属異物検出方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：西藤征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004312729
Publication number (International publication number)：2006125937
Application date： Oct. 27, 2004
Publication date： May. 18, 2006
Summary：

【課題】従来のマグネットを用いた導電性金属異物の除去方法では除去できなかった導電性金属異物を検出することがてきる金属異物検出方法を提供する。【解決手段】磁化器1が発生する磁束中に、半導体封止用エポキシ樹脂組成物Tからなる被検査体を位置させ、その被検査体中に金属異物が存在したときに、上記磁束によって、その金属異物を誘導加熱状態にし、ついで、その被検査体の温度分布を赤外線カメラ2等で測定することにより、上記金属異物を検出する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

磁化器が発生する磁束中に、半導体封止用エポキシ樹脂組成物からなる被検査体を位置させ、その被検査体中に金属異物が存在したときに、上記磁束によって、その金属異物を誘導加熱状態にし、ついで、その被検査体の温度分布を測定することにより、上記金属異物を検出することを特徴とする金属異物検出方法。

IPC (5)：

G01V 8/10 , G01N 25/72 , G01V 9/00 , H01L 23/29 , H01L 23/31

FI (4)：

G01V9/04 S , G01N25/72 K , G01V9/00 A , H01L23/30 Z

F-Term (17)：

2G040AA05 , 2G040AB12 , 2G040BA02 , 2G040BA25 , 2G040CA01 , 2G040CA23 , 2G040DA06 , 2G040DA15 , 2G040EA04 , 2G040EB02 , 2G040HA02 , 2G066AC20 , 2G066CA02 , 4M109EA02 , 4M109EB03 , 4M109EB04 , 4M109EB12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

ドラム型金属選別回収装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-351981 Applicant：日立機材株式会社

Cited by examiner (6)

温度測定方法および非破壊欠陥検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-176419 Applicant：三井東圧化学株式会社
特開昭49-061217
半導体封止用樹脂組成物、その製造方法及び製造装置ならびにそれを使用した半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-312300 Applicant：富士通株式会社

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