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J-GLOBAL ID：200903012783411656

走査型プロ-ブ顕微鏡

Inventor： 伊與木 誠人 ,  長谷川 正夫 ,  冨田 英介
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999164333
Publication number (International publication number)：2000081443
Application date： Jun. 10, 1999
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】 プローブの距離制御手段として圧電体を利用する走査型プローブ顕微鏡において、温度などの環境変化や接着剤の量や接着方法によらず、安定した振動特性や検出特性が得られ、さらに検出用圧電素子の再利用が可能なようなプローブと検出用圧電体の接合方法を提供する。【解決手段】 プローブ1と検出用圧電体3の接合を弾性体のバネ圧により行い、また、プローブ1の軸方向と検出用圧電体3の梁の長手方向を概平行に接合する場合に比べて、プローブと検出用圧電体の接合部の接触面積が小さくなるようにプローブ1に対して検出用圧電体3を接合面内で傾けて配置した。

Claim (excerpt)：

先端が探針状に加工されたプローブと、励振用圧電体と交流電圧発生手段からなる励振部と、検出用圧電体と電流電圧増幅回路からなる振動検出部と、プローブおよび励振用圧電体および検出用圧電体を保持するためのプローブホルダと、プローブをサンプルに接近させる粗動機構と、Z軸微動素子とZサーボ回路からなるサンプルとプローブ間の距離制御手段と、XY微動素子とXY走査回路からなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデータ処理装置とからなる走査型プローブ顕微鏡において、プローブと検出用圧電体の接合を弾性体のバネ圧により行うことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34

FI (2)：

G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 連成オシレータ走査イメージャー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-245003   Applicant：ドクターカレドカライウントドクターミレスハイネスゲゼルシャフトビュルガーリッヘンレヒツミットベシュレンクテルハフツンク
• カンチレバーの評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-298872   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 超音波を導入するカンチレバーを用いた物性の計測方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-344902   Applicant：工業技術院長

Cited by examiner (3)

• 連成オシレータ走査イメージャー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-245003   Applicant：ドクターカレドカライウントドクターミレスハイネスゲゼルシャフトビュルガーリッヘンレヒツミットベシュレンクテルハフツンク
• カンチレバーの評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-298872   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 超音波を導入するカンチレバーを用いた物性の計測方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-344902   Applicant：工業技術院長