カンチレバーの評価装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：奈良武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996298872
Publication number (International publication number)：1998142241
Application date： Nov. 11, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】複数のカンチレバーを破壊することなく評価する。【解決手段】カンチレバー1の固定端部1aの一面側を着脱自在に支持する支持部材10と、この支持部材10に支持されたカンチレバー1の固定端部1aの他面側に当接自在に配置され、カンチレバー1の他面側に当接したとき、固定端部1aを介してカンチレバー1を振動させる加振部材6と、この加振部材6を前記他面側に当接した状態でカンチレバー1の固定端部1aを前記支持部材10とによって押圧して挟持する押圧部材2と、前記カンチレバー1の自由端部1bに対向してカンチレバー1の振動を検出し、変位信号を出力する検出手段4と、前記加振部材6に加振信号を出力すると共に、前記検出手段4からの変位信号が入力されカンチレバー1の固有振動数を検出する周波数解析装置3とを有する。押圧部材2に取り付けた加振部材6と、支持部材10とによって、カンチレバー1を挟持するため、着脱が簡単であり、カンチレバー1の交換時に破壊することがなくなる。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの固有振動数を検出し、その特性を評価するカンチレバーの評価装置において、前記カンチレバーの固定端部の一面側を着脱自在に支持する支持部材と、この支持部材に支持されたカンチレバーの固定端部の他面側に当接自在に配置され、カンチレバーの他面側に当接したとき、固定端部を介してカンチレバーを振動させる加振部材と、この加振部材を前記他面側に当接した状態でカンチレバーの固定端部を前記支持部材とによって押圧して挟持する押圧部材と、前記カンチレバーの自由端部に対向してカンチレバーの振動を検出し、変位信号を出力する検出手段と、前記加振部材に加振信号を出力すると共に、前記検出手段からの変位信号が入力されカンチレバーの固有振動数を検出する周波数解析装置と、を有することを特徴とするカンチレバーの評価装置。

IPC (4)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , G01H 13/00 , G01N 29/12

FI (4)：

G01N 37/00 G , G01B 21/30 Z , G01H 13/00 , G01N 29/12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-284718 Applicant：株式会社島津製作所
液中静電相互作用評価装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-221328 Applicant：株式会社東芝
表面形状測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-114253 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Show all

Cited by examiner (3)

走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-284718 Applicant：株式会社島津製作所
液中静電相互作用評価装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-221328 Applicant：株式会社東芝
表面形状測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-114253 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Return to Previous Page