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J-GLOBAL ID：200903012835429095

異常検出方法

Inventor：
赤尾 徳信

About 赤尾 徳信


Applicant, Patent owner：
株式会社日立国際電気

About 株式会社日立国際電気


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006269060
Publication number (International publication number)：2008091518
Application date： Sep. 29, 2006
Publication date： Apr. 17, 2008
Summary：
【課題】本発明の目的は、上記問題点を解決し、従来の上下限値チェック方法よりも簡単に異常を検出できる異常検出方法、及び装置の状態変化に合わせて柔軟に対応しやすい上下限値チェック機能を備えた群管理装置302やこの群管理装置302に複数接続される基板処理装置100を含む基板処理システム300を提供することにある。 【解決手段】基板処理装置を構成する複数の部品を動作させることにより、基板に処理を施す基板処理装置100において、前記各部品から受信するデータを取得し、前記データを監視することにより基板処理装置100の異常を検出する方法であって、前記各部品のうち一つの部品に対して複数の項目のうち一つの項目を選択し、当該項目に関するデータを検出する条件を規定する検出条件2や当該検出条件2を満たす時間範囲を規定する判定条件3を設定し、前記項目に関するデータが検出条件2を満たしたら、前記判定条件を満たしているかどうかを判定することを特徴とする。【選択図】 図10
Claim (excerpt)：
レシピを実行することにより基板処理装置を構成する複数の部品を動作させることにより、基板に処理を施す基板処理装置において、前記各部品から受信するデータを取得し、前記データを監視することにより基板処理装置の異常を検出する方法であって、 前記各部品のうち一つの部品に対して複数の項目のうち一つの項目を選択し、当該項目に関するデータを検出する条件を規定する検出条件や当該検出条件を満たす時間範囲を規定する判定条件を設定し、 前記項目に関するデータが検出条件を満たしたら、前記レシピが開始してから前記検出条件を満たすまでの時間を算出し、 前記算出した時間が前記時間範囲に入っているかどうかを判断することを特徴とする基板処理装置の異常検出方法。
IPC (1)：
H01L 21/02
FI (1)：
H01L21/02 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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