カラーフィルターレジストの塗布方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：重野剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994266513
Publication number (International publication number)：1996129104
Application date： Oct. 31, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】カラーフィルターの製造に当り、色材料を含有する光重合性組成物の使用量を少なくして、透明基板上に塗布液を均一に塗布する。【構成】塗布を、予備塗布と予備塗布後の本塗布との少なくとも2段階で行う。塗布液膜厚が10〜50μmで、透明基板の周辺部の非塗布部分の面積の割合が、全被塗布表面の面積の40%以下となるように予備塗布を行った後、スピナー塗布装置を用いて本塗布を行う。【効果】塗布を2段階にすることで、塗布液の飛散を減少させることができる。前段の塗布を特定の塗布条件とすることで、塗布の均一性が高められる。高塗着率で塗布が可能となり、カラーフィルターレジストの使用量を低減させることができる。粘性、チキソトロピー性が高い塗布液でも均一に塗布できる。大面積の透明基板であっても、その周縁部分まで広範囲に均一塗布できる。カラーフィルター低コスト化、更には大型化を実現できる。

Claim (excerpt)：

透明基板上にカラーフィルターレジストを含有する塗布液を塗布する方法において、該塗布を、予備塗布と予備塗布後の本塗布との少なくとも2段階で行う方法であって、塗布液膜厚が10〜50μmで、透明基板の周辺部の非塗布部分の面積の割合が、全被塗布表面の面積の40%以下となるように予備塗布を行った後、スピナー塗布装置を用いて本塗布を行うことを特徴とするカラーフィルターレジストの塗布方法。

IPC (3)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/16 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開平2-048078
樹脂薄膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-234431 Applicant：積水化学工業株式会社
液体のスピンコーティング方法とその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-252201 Applicant：ノードソン株式会社

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