経時変化のない安定性に優れたPb系金属酸化物薄膜形成用溶液

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997239617
Publication number (International publication number)：1999079747
Application date： Sep. 04, 1997
Publication date： Mar. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】経時変化のない安定性に優れたPb系金属酸化物薄膜形成用溶液を提供する。【解決手段】少なくともPb化合物を含む加水分解性金属化合物と、1-アルコキシ-2-プロパノ-ル類、3-メトキシブタノ-ル類、または1-ブトキシエタノ-ル類よりなる群から選ばれる1種または2種以上の溶媒とからなるPb系金属酸化物薄膜形成用溶液、必要に応じて、β-ジケトン類、β-ケトエステル類、カルボン酸類、エタノ-ルアミン類,ジオ-ル類、エステル類が添加され、上記Pb化合物が、Zr、Ti、La、Mg、Zn、Nb等を含有する化合物であり、さらにアセチルアセトンまたは2-エチルヘキサン酸が添加されるPb系金属酸化物薄膜形成用溶液。

Claim (excerpt)：

少なくともPb化合物を含む加水分解性金属化合物と、1-アルコキシ-2-プロパノ-ル類、3-メトキシブタノ-ル類、または1-ブトキシエタノ-ル類よりなる群から選ばれる1種または2種以上の溶媒とからなる経時変化のない安定性に優れたPb系金属酸化物薄膜形成用溶液。

IPC (2)：

C01G 25/00 , H01B 3/12 301

FI (2)：

C01G 25/00 , H01B 3/12 301

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平2-196749
強誘電体薄膜キャパシタの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-005772 Applicant：オリンパス光学工業株式会社, シメトリックス・コーポレーション
特開昭61-097159

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