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J-GLOBAL ID：200903013794637890

プラズマディスプレイパネルの製造方法および転写フィルム

Inventor：
増子 英明

About 増子 英明

, 
板野 孝史

About 板野 孝史

, 
岡本 健司

About 岡本 健司

, 
野間 節子

About 野間 節子


Applicant, Patent owner：
ジェイエスアール株式会社

About ジェイエスアール株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998368153
Publication number (International publication number)：2000195419
Application date： Dec. 24, 1998
Publication date： Jul. 14, 2000
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 寸法精度の高いパターンを形成することができ、従来の製造方法に比べて、実質的に作業性を向上することができる製造効率の優れたプラズマディスプレイパネルの製造方法および、プラズマディスプレイパネルの製造に好適に用いられる転写フィルムを提供すること。【解決手段】 非感光性の膜形成材料層21の上に感光性の膜形成材料層23を形成し、その上にレジスト膜31を形成し、当該レジスト膜を露光、現像してレジストパターンを顕在化させ、膜形成材料層をエッチング処理してレジストパターンに対応するパターンを形成し、当該パターンを焼成処理する工程を含む。
Claim (excerpt)：
支持フィルム上に形成された、放射線重合開始剤を含有しない第一の膜形成材料層を基板上に転写し、当該第一の膜形成材料層上に、放射線重合開始剤を含有する第二の膜形成材料層を形成し、当該第二の膜形成材料層上にレジスト膜を形成し、当該レジスト膜を露光処理して、レジストパターンの潜像を形成し、当該レジスト膜を現像処理してレジストパターンを顕在化させ、膜形成材料層をエッチング処理してレジストパターンに対応する膜形成材料層のパターンを形成し、当該パターンを焼成処理する工程を含む方法により、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスの少なくともひとつを形成することを特徴とする、プラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (4)：
H01J 9/02 ,  H01J 9/227 ,  H01J 11/00 ,  H01J 11/02
FI (4)：
H01J 9/02 F ,  H01J 9/227 E ,  H01J 11/00 K ,  H01J 11/02 B
F-Term (17)：
5C027AA01 ,  5C027AA09 ,  5C027AA10 ,  5C028FF16 ,  5C028HH14 ,  5C028JJ09 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GC19 ,  5C040GF19 ,  5C040GG09 ,  5C040GH03 ,  5C040GH07 ,  5C040JA19 ,  5C040MA26
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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