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J-GLOBAL ID：200903017146436914
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法及びそれに使用する転写シート
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
土井 育郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995077897
Publication number (International publication number)：1996273536
Application date： Apr. 03, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：
【要約】【目的】 サンドブラスト法によりプラズマディスプレイパネルの障壁を形成するに際し、ガラス基板上における有効表示エリア内のみに均一な膜厚の障壁形成層を形成できるようにする。【構成】 ベースフィルム10上に障壁形成層11を備えた転写シートSからその障壁形成層11をガラス基板13を転写した後、レジストパターンを形成してサンドブラスト加工により障壁形成材料の不要部分を除去する。ベースフィルム10の不要部分をスリットして使用することで、周縁部の起伏がなく、エッジまで均一な膜厚の障壁形成層11を形成できる。塗布した障壁形成材料の下面側が反転して障壁の上面になるので、表面凹凸が極めて少ない障壁を形成できる。
Claim (excerpt)：
ベースフィルム上に障壁形成層を備えた転写シートからその障壁形成層をガラス基板上に転写する第1工程、転写された障壁形成層の上面にレジストパターンを形成する第2工程、該レジストパターンの開口部の障壁形成材料をサンドブラスト加工により除去する第3工程、障壁形成材料上の残ったレジストを剥離する第4工程、焼成により障壁形成材料を焼結する第5工程、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 9/02 F
, H01J 9/24 B
Cited by examiner (7)
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特開平1-241731
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特開平4-249828
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特開平2-301934
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