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J-GLOBAL ID：200903013925734900
表面欠陥検査装置,表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査用のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 勇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998100446
Publication number (International publication number)：1999281581
Application date： Mar. 27, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：
【要約】【課題】 簡易な構造で高精度で被検査面の欠陥を検査できる表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法、更に表面欠陥検査用のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供すること。【解決手段】 被検査面に所定の検査光を照射する照明手段と、被検査面を撮像する撮像手段と、この撮像手段で得られた画像に基づいて被検査面の欠陥を抽出する画像処理手段とを備える。そして、照明手段を、検査光を照射する光源と、この光源の照明状態を変化させる照明制御部とにより構成し、画像処理手段は、相互に異なる照明状態での画像を比較して欠陥を検出する。
Claim (excerpt)：
被検査面に所定の検査光を照射する照明手段と、前記被検査面を撮像する撮像手段と、この撮像手段で得られた画像に基づいて被検査面の欠陥を抽出する画像処理手段とを備え、前記画像処理手段は、相互に異なる照明状態での画像を比較して前記欠陥を検出するものであり、前記照明手段を、前記検査光を照射する光源と、この光源の照明状態を変化させる照明制御部とにより構成したことを特徴とした表面欠陥検査装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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