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J-GLOBAL ID：200903014178496049
顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007212069
Publication number (International publication number)：2009047477
Application date： Aug. 16, 2007
Publication date： Mar. 05, 2009
Summary：
【課題】 試料表面の形状及び微小領域での複数の物性を同時測定することが可能である顕微鏡用プローブ及び走査型顕微鏡を提供する。【解決手段】 カンチレバー22と、カンチレバー先端に設けられた探針部21と、カンチレバー上面に設けられ、カンチレバー先端部に第1の端部291を有する第1の金属構造体29と、カンチレバー上面に設けられ、カンチレバー先端部に第2の端部301を有する第2の金属構造体30と、第1及び第2の端部291,301が重なることで形成された温度測定素子と、探針部21及びその近傍に形成された導電層70と、カンチレバー上面に設けられ、導電層70に接続された第3の金属構造体80と、導電層70及び第3の金属構造体80からなる電気特性検出素子と、を備え、第1〜第3の金属構造体29,30,80が、カンチレバー基端部において中心軸A上に重なって形成された顕微鏡用プローブとした。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
上面に絶縁層を有するカンチレバーと、
前記カンチレバーの先端に設けられ、先鋭化された探針部と、
前記カンチレバーの上面に設けられ、前記カンチレバーの先端部に第1の端部を有する第1の金属構造体と、
前記カンチレバーの上面に設けられ、前記カンチレバーの先端部に第2の端部を有する第2の金属構造体と、
前記第1の端部及び前記第2の端部が重なることで形成された温度測定素子と、
前記探針部及びその近傍に形成された導電層と、
前記カンチレバーの上面に設けられ、前記導電層に接続された第3の金属構造体と、
前記導電層及び前記第3の金属構造体からなる電気特性検出素子と、
を備え、
前記第1の金属構造体と前記第2の金属構造体と前記第3の金属構造体とは、前記カンチレバーの基端部において該カンチレバーの中心軸上に重なって形成されていることを特徴とする顕微鏡用プローブ。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N13/16 101G
, G01N13/10 111D
, G01N13/10 141B
