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J-GLOBAL ID：200903009998920143

走査型プロ-ブ顕微鏡(SPM)プロ-ブ及びSPM装置

Inventor：
高橋 寛

About 高橋 寛

, 
清水 信宏

About 清水 信宏

, 
白川部 喜春

About 白川部 喜春


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999153937
Publication number (International publication number)：2000065718
Application date： Jun. 01, 1999
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：
【要約】【課題】 ピエゾ抵抗体を設けたSPMプローブから構成され且つ試料の表面電位を測定することのできるSPMプローブを提供する。【解決手段】 ピエゾ抵抗体20の設けられたSPMプローブにおいて、探針12表面に金属膜22を被覆して導電性を持たせ、さらに、金属膜22から導電層24を配線して一方の電極とする。これにより、他方の電極となる試料と、探針との間に電圧を印加することが可能になる。よって、ピエゾ抵抗体によるSPMプローブの撓み量検出による試料表面と探針との間の相互作用の計測が可能になるとともに、試料表面の表面電位の計測を、煩雑な位置調整を必要とする検出器を使用せずに可能となる。
Claim (excerpt)：
先鋭化された探針を先端に設けたレバー部と該レバー部を支持する支持部とから構成されるSPMプローブにおいて、前記探針とその近傍に導電膜を被覆したことを特徴とするSPMプローブ。
IPC (3)：
G01N 13/16 ,  G01N 13/12 ,  G01B 21/30
FI (3)：
G01N 37/00 G ,  G01N 37/00 C ,  G01B 21/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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