ウェーハ押さえ部材、これを組み込んだウェーハ収納用容器

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：山本亮一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997328194
Publication number (International publication number)：1999163115
Application date： Nov. 28, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】ウェーハ押さえ部材から発生する揮発性有機物が少なく、収納されたウェーハの汚染を極力低減しうるウェーハ押さえ部材及びこれを組み込んだウェーハ収納用容器を提供する。【解決手段】内部温度60°Cの密閉容器内に120分間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して50ppm以下となるように、予め真空加熱処理を施した熱可塑性ポリエステル系エラストマー材料を、内部温度60°Cの密閉容器内に120分間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して50ppm以下となるように射出成形する。

Claim (excerpt)：

内部温度60°Cの密閉容器内に120分間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して50ppm以下となるように、予め真空加熱処理を施した熱可塑性ポリエステル系エラストマー材料を、内部温度60°Cの密閉容器内に120分間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して50ppm以下となるように射出成形することにより得られることを特徴とするウェーハ押さえ部材。

IPC (2)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2)：

H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

シリコンウェーハーキャリア
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-003056 Applicant：帝人株式会社
半導体ウェーハ用包装容器およびその製造方法およびこれを用いた半導体ウェーハの保管方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-326950 Applicant：コマツ電子金属株式会社, 小松化成株式会社, 九州コマツ電子株式会社
ウェーハ収納容器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-074720 Applicant：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社

ウェーハ収納体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-092075 Applicant：ソニー株式会社

ウェハーキャリヤ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-177719 Applicant：フルオロウェア・インコーポレーテッド

ウェーハ収納容器のウェーハカセット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-289158 Applicant：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社

ウエーハ収納容器のウエーハ押え
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-245252 Applicant：信越半導体株式会社, 信越ポリマー株式会社

ウエーハ収納容器のウエーハ押え
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-245253 Applicant：信越半導体株式会社, 信越ポリマー株式会社

ウェーハ収納容器のウェーハ抑え
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-166850 Applicant：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社

半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-256316 Applicant：三洋電機株式会社

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