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J-GLOBAL ID：200903014494278703

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
八子 由子

About 八子 由子


Applicant, Patent owner：
住友化学工業株式会社

About 住友化学工業株式会社


Agent (3)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003370249
Publication number (International publication number)：2004170951
Application date： Oct. 30, 2003
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：
【課題】可視光に対する透過率が高く、かつ放射線に対する感度が高い透明硬化樹脂パターンを形成し得る感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】不飽和カルボン酸から導かれる構成単位(a1)およびオキセタニル基を有する不飽和化合物(ただし、不飽和カルボン酸を除く。)から導かれる構成単位(a2)を含む共重合体(A)と、一般式(1)で示されるフェノール化合物のキノンジアジドスルホン酸エステル(B)とを含有する。(式中、Y1、Y2、Z1〜Z7は、それぞれ独立に、ハロゲンで置換されていてもよいアルキル基、水素、または水酸基を表わし、Y1およびY2からなる群から選ばれる少なくとも一つは水酸基であり、かつZ1〜Z7からなる群から選ばれる少なくとも二つは水酸基を表わす。)【選択図】なし
Claim (excerpt)：
不飽和カルボン酸から導かれる構成単位(a1)およびオキセタニル基を有する不飽和化合物(ただし、不飽和カルボン酸を除く。)から導かれる構成単位(a2)を含む共重合体(A)と、一般式(1)で示されるフェノール化合物のキノンジアジドスルホン酸エステル(B)とを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (6)：
G03F7/038 ,  G03F7/022 ,  G03F7/029 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027
FI (6)：
G03F7/038 503 ,  G03F7/022 601 ,  G03F7/029 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R
F-Term (17)：
2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BD25 ,  2H025BE07 ,  2H025CA48 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 感放射線性樹脂組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-150080   Applicant：ジェイエスアール株式会社
Cited by examiner (4)
  • 感放射線性樹脂組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-150080   Applicant：ジェイエスアール株式会社
  • 特開平3-185447
  • カラーフィルター
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-002210   Applicant：住友化学工業株式会社
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