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J-GLOBAL ID：200903097509677424

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
八子 由子

About 八子 由子


Applicant, Patent owner：
住友化学工業株式会社

About 住友化学工業株式会社


Agent (3)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003362900
Publication number (International publication number)：2004163923
Application date： Oct. 23, 2003
Publication date： Jun. 10, 2004
Summary：
【課題】 着色がなく可視光に対する透過率が高く、十分な耐溶剤性を有する透明硬化樹脂パターンを形成し得て、また形状のよい透明硬化樹脂パターンを形成し得る感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 バインダー樹脂として、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位(a1)およびオキセタニル基を有する不飽和化合物(ただし、不飽和カルボン酸を除く。)から導かれる構成単位(a2)を含む共重合体(A)、キノンジアジド化合物(B)およびカチオン重合開始剤(C)としてヘキサフルオロアンチモネートアニオンとオニウムカチオンとからなる塩を含有する感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
バインダー樹脂として、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位(a1)およびオキセタニル基を有する不飽和化合物(ただし、不飽和カルボン酸を除く。)から導かれる構成単位(a2)を含む共重合体(A)、 キノンジアジド化合物(B)および カチオン重合開始剤(C)としてヘキサフルオロアンチモネートアニオンとオニウムカチオンとからなる塩を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (4)：
G03F7/032 ,  G03F7/029 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027
FI (4)：
G03F7/032 501 ,  G03F7/029 ,  G03F7/40 ,  H01L21/30 502R
F-Term (23)：
2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BD25 ,  2H025BE01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096HA03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (1)
  • 感放射線性樹脂組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-150080   Applicant：ジェイエスアール株式会社

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