ガスバリヤー膜の製造方法及び装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：八木田茂 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001285288
Publication number (International publication number)：2003089874
Application date： Sep. 19, 2001
Publication date： Mar. 28, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】ガスバリヤー性に優れたダイヤモンド状炭素膜(DLC膜)を産業上利用可能な規模で形成する方法及び装置を提供する。【解決手段】巻取り式蒸着装置を用いて各種物質の保存に用いられる容器としてのプラスチックフィルム素材上にガスバリヤー膜としてダイヤモンド状炭素膜を形成するために、排気系を有する真空チャンバー内でプラスチックフィルム素材を移送させる主ローラーに電力を印加して主ローラーと陽極との間に放電を起こさせ、主ローラー上を移送されるプラスチックフィルム素材の表面近傍に磁場を掛け、それにより原料ガスの炭化水素ガスを分解して、プラスチックフィルム素材上に緻密なダイヤモンド状炭素膜を50Å〜1000Åの範囲の厚さに形成することから成る。

Claim (excerpt)：

巻取り式蒸着装置を用いて各種物質の保存に用いられる容器としてのプラスチックフィルム素材上にガスバリヤー膜としてダイヤモンド状炭素膜を形成する方法において、排気系を備えた真空チャンバー内でプラスチックフィルム素材を移送させる主ローラーに電力を印加して主ローラーと陽極との間に放電を起こさせ、主ローラー上を移送されるプラスチックフィルム素材の表面近傍に磁場を掛け、それにより原料ガスの炭化水素ガスを分解して、プラスチックフィルム素材上に緻密なダイヤモンド状炭素膜を50Å〜1000Åの範囲の厚さに形成することを特徴とするガスバリヤー膜の製造方法。

F-Term (10)：

4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030CA07 , 4K030CA12 , 4K030FA03 , 4K030JA18 , 4K030KA15 , 4K030KA34 , 4K030LA01 , 4K030LA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

透明ガスバリヤーフィルム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-062876 Applicant：三井化学株式会社
磁気記録媒体保護膜の製造方法およびその製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-067876 Applicant：日本真空技術株式会社
成膜方法及び成膜装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-060707 Applicant：ソニー株式会社

Show all

Return to Previous Page