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J-GLOBAL ID:200903015209176397
インクジェットヘッドの製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995113030
Publication number (International publication number):1996300667
Application date: May. 11, 1995
Publication date: Nov. 19, 1996
Summary:
【要約】【目的】 溝内面に形成された電極の一部を効率よく選択的に除去すること。【構成】 圧電セラミックス基板1にインク室2となる溝を多数形成し、次に溝内の全表面に電極を形成する。そして、溝の底面に形成された電極に対して、波長1.06μmであるYAGレーザ光10を照射して、溝底面の電極を除去する。これにより、溝内の電極が分離されて、電極9が形成される。そして、圧電セラミックス基板1の溝加工側の面に、インク供給口を有する蓋が接着されて、インク室2が形成される。そのインク室2の一方の端にノズルが対応するように、ノズルプレートが圧電セラミックス基板1及び蓋の一端面に接着される。
Claim (excerpt):
少なくとも一部が圧電セラミックスで形成された側壁と、前記側壁に隔てられた複数の溝と、前記溝の一方の側面である側壁に形成された第一電極と、前記溝の他方の側面である側壁に形成された第二電極とを有するアクチュエータ部材と、前記アクチュエータ部材の前記溝を塞ぐカバー部材とを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、前記アクチュエータ部材の前記溝の内表面に電極を形成する第一工程と、前記溝の内表面に形成された電極に対して高エネルギービームを照射して、前記電極の一部を選択的に除去し、互いに電気的に分離した前記第一電極及び前記第二電極を溝内表面に形成する第二工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3):
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (2):
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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インクジェットヘッド製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-169331
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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特開昭64-086567
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レーザトリミング方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-248840
Applicant:松下電器産業株式会社
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半導体レーザ素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-159134
Applicant:シャープ株式会社
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