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J-GLOBAL ID:200903015500903263
カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
清水 守
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002160482
Publication number (International publication number):2003114182
Application date: May. 31, 2002
Publication date: Apr. 18, 2003
Summary:
【要約】【課題】 構成が簡単で、的確な試料表面の検出が可能なカンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法を提供する。【解決手段】 カンチレバーアレイにおいて、試料1の表面2上を摺動する多数のコンプライアントなカンチレバー3を具備する。
Claim (excerpt):
試料の表面上を摺動する多数のコンプライアントなカンチレバーを具備することを特徴とするカンチレバーアレイ。
IPC (8):
G01N 13/10 ZNM
, G01N 13/10
, B82B 3/00
, G01B 11/30
, G01B 21/30 101
, G01N 13/16
, G02B 21/00
, G12B 21/02
FI (8):
G01N 13/10 ZNM A
, G01N 13/10 C
, B82B 3/00
, G01B 11/30 Z
, G01B 21/30 101 Z
, G01N 13/16 C
, G02B 21/00
, G12B 1/00 601 A
F-Term (31):
2F065AA01
, 2F065AA06
, 2F065AA20
, 2F065AA49
, 2F065AA56
, 2F065BB01
, 2F065DD03
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065HH03
, 2F065HH04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL37
, 2F065MM02
, 2F065PP12
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F069AA60
, 2F069BB15
, 2F069DD19
, 2F069DD27
, 2F069GG07
, 2F069HH02
, 2F069HH09
, 2H052AB24
, 2H052AC04
, 2H052AC27
, 2H052AD02
, 2H052AF11
, 2H052AF14
Patent cited by the Patent:
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