ナノメートルオーダの機械振動子、その製造方法及びそれを用いた測定装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：清水守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000156645
Publication number (International publication number)：2001091441
Application date： May. 26, 2000
Publication date： Apr. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】ナノメートルオーダの飛躍的な力や質量変化の検出分解能を有する安定で感度の高いナノメートルオーダの機械振動子、その製造方法及びそれを用いた測定装置を提供する。【解決手段】ナノメートルオーダの機械振動子10は、ベース11、四面体形状の振動子マス13、ベース11と四面体形状の振動子マス13を連結する弾性部を有する頸部12からなる。この振動子10は、キノコ状であり、ナノメートルオーダである。振動子マス13は四面体形状であり、その振動子マス13を任意の試料表面にプローブとして近接させ、表面状態を観察する走査型力顕微鏡のプローブに適している。

Claim (excerpt)：

(a)ベースと、(b)長方形状の振動子マスと、(c)前記ベースと長方形状の振動子マスとを連結する弾性を有し、その主軸と直交する面で切った場合の断面が長方形状の頸部とを具備するナノメートルオーダの機械振動子。

IPC (12)：

G01N 13/16 , B82B 1/00 , B82B 3/00 , G01B 21/30 , G01L 1/04 , G01N 13/10 , G01N 13/14 , G01P 3/12 , G01P 15/02 , G12B 21/08 , H01L 41/09 , H01L 41/08

FI (13)：

G01N 13/16 C , B82B 1/00 , B82B 3/00 , G01B 21/30 Z , G01L 1/04 , G01N 13/10 C , G01N 13/14 B , G01P 3/12 , G01P 15/02 A , G12B 1/00 601 D , H01L 41/08 L , H01L 41/08 U , H01L 41/08 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-060693 Applicant：三菱電機株式会社
走査トンネル顕微鏡用探針およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-344516 Applicant：松下電器産業株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

A Silicon Based Nanometric Oscillator for Scanning Force Microscopy Operating in the 100 MHz Range
ナノメートルオーダの機械振動子(ナノカンチレバー)の作成と評価
Si基板を用いたナノメートルオーダの機械振動子の作成

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