感温感歪複合センサ

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000074937
Publication number (International publication number)：2001221696
Application date： Feb. 10, 2000
Publication date： Aug. 17, 2001
Summary：

【要約】【課題】従来の歪及び温度を同時に検知するセンサは、感度が悪い、誤差が大きい、補償回路を必要とするなどの問題があった。本発明は、高感度で誤差が少なく、補償回路を必要とせずに歪及び温度を同時に検知可能とするセンサを提供するにある。【解決手段】本発明は、温度感度が大きく歪感度(又は圧力感度)が小さい温度検知用薄膜、及び歪感度(又は圧力感度)が大きく温度感度が小さい歪検知用薄膜という、大きく異なる特徴を持つ二つの薄膜抵抗体を、並列構造あるいは積層構造をなして構成することにより、補償回路を用いずに温度及び歪(又は圧力)を同時に検出することが可能な複合型センサを提供することができる。

Claim (excerpt)：

導電性基板上に絶縁性膜を形成し、さらに当該絶縁性膜上に又は絶縁性基板上に温度センサ材料及び歪センサ材料を成膜してなり、歪による温度測定誤差が0.5K以内で、かつ温度による歪量測定誤差百分率が50%以内の精度で温度及び歪を同時に検出することを特徴とする感温感歪複合センサ。

IPC (5)：

G01K 7/18 , G01B 7/16 , G01L 3/10 , G01L 9/04 , G01P 15/12

FI (5)：

G01K 7/18 B , G01L 3/10 C , G01L 9/04 , G01P 15/12 , G01B 7/18 G

F-Term (22)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC01 , 2F055DD20 , 2F055EE11 , 2F055FF02 , 2F055GG01 , 2F055GG32 , 2F063AA28 , 2F063AA50 , 2F063CA34 , 2F063CB01 , 2F063CC09 , 2F063DA02 , 2F063DD05 , 2F063EC03 , 2F063EC05 , 2F063EC06 , 2F063EC14 , 2F063EC15 , 2F063EC20 , 2F063EC27

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

歪・温度複合センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-192282 Applicant：アンリツ株式会社
圧力、歪み及び温度の同時測定装置、同時測定方法及び薄膜センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-286740 Applicant：株式会社日本自動車部品総合研究所, トヨタ自動車株式会社
圧力、歪、温度の同時計測方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-094145 Applicant：トヨタ自動車株式会社

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