インジウム酸化物系焼結体およびその製造方法ならびにインジウム酸化物系ターゲット

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大場充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995281559
Publication number (International publication number)：1997125236
Application date： Oct. 30, 1995
Publication date： May. 13, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、大型で一体に形成された高密度なインジウム酸化物系焼結体およびその製造方法ならびにインジウム酸化物系ターゲットを提供することである。【解決手段】本発明は、InおよびOからなり、相対密度90%以上であって、残留応力xが-200≦x≦200MPaであることを特徴とするインジウム酸化物系焼結体。

Claim (excerpt)：

InおよびOからなり、相対密度90%以上であって、残留応力xが-200≦x≦200MPaであることを特徴とするインジウム酸化物系焼結体。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

酸化インジウム・酸化スズ焼結体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-262559 Applicant：東ソー株式会社
ITO粉末、ITO焼結体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-330812 Applicant：東ソー株式会社
特開平4-293769

Cited by examiner (4)

酸化インジウム・酸化スズ焼結体の製造方法
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特開平4-293769

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