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J-GLOBAL ID：200903015559802061

近接場光学顕微鏡装置

Inventor：
佐々木 浩子

About 佐々木 浩子


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000001026
Publication number (International publication number)：2001194286
Application date： Jan. 06, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】本発明は、入射光の波長を変調することで試料からの信号に変調を加え、変調された信号からSNOM信号を抽出することでS/Nよい画像を得る信号検出手段を備えた近接場光学顕微鏡装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、試料表面に光を入射する入射手段と、先端が該試料に近接されて設置され、該先端で該入射光に由来する散乱光を発生させる探針と、該散乱光を検出する光検出手段とを具備する近接場光学顕微鏡装置において、該入射光の波長を所定の周波数で変調させる入射光変調手段と、上記光検出手段の出力より、上記所定の周波数の成分を抽出する抽出手段とをさらに具備することを特徴とする近接場光学顕微鏡装置が提供される。
Claim (excerpt)：
試料表面に光を入射する入射手段と、先端が該試料に近接されて設置され、該先端で該入射光に由来する散乱光を発生させる探針と、該散乱光を検出する光検出手段と、を具備する近接場光学顕微鏡装置において、該入射光の波長を所定の周波数で変調させる入射光変調手段と、上記光検出手段の出力より、上記所定の周波数の成分を抽出する抽出手段と、をさらに具備することを特徴とする近接場光学顕微鏡装置。
IPC (2)：
G01N 13/14 ,  G01B 11/30 102
FI (2)：
G01N 13/14 A ,  G01B 11/30 102 Z
F-Term (39)：
2F065AA00 ,  2F065AA09 ,  2F065AA45 ,  2F065CC17 ,  2F065CC21 ,  2F065DD04 ,  2F065DD12 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG05 ,  2F065GG23 ,  2F065GG25 ,  2F065HH12 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ17 ,  2F065LL01 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL22 ,  2F065LL24 ,  2F065LL31 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065MM02 ,  2F065MM28 ,  2F065NN06 ,  2F065NN08 ,  2F065NN11 ,  2F065PP01 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 熱分光測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-298707   Applicant：富士写真フイルム株式会社
  • 光測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-331726   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 走査型近視野原子間力顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-054093   Applicant：セイコー電子工業株式会社
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Cited by examiner (4)
  • 熱分光測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-298707   Applicant：富士写真フイルム株式会社
  • 光測定装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-331726   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 走査型近視野原子間力顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-054093   Applicant：セイコー電子工業株式会社
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