金属表面の検査方法及び装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高矢諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999068467
Publication number (International publication number)：2000266686
Application date： Mar. 15, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】反射光量の大きなキズ欠陥とそれが小さいシミ欠陥とを明確に区別して検査できるようにする。【解決手段】金属製品Wの表面を斜光照明する照明装置12と、斜光照明下にある金属Wの表面を撮像するCCDカメラ10と、該表面を撮像して得られる画像に基づいて金属の表面状態を検査する画像処理装置16とを備えた検査装置において、画像上でキズ欠陥のみが識別できる第1照明光量と、キズ欠陥とシミ欠陥とが識別できる第2照明光量とに、それぞれ前記照明装置12からの光量を調整する手段を備えていると共に、前記画像処理装置16が、撮像された第1画像と第2画像の同一箇所の輝度を比較することでそれぞれ画像処理を行って金属の表面状態を検査する。

Claim (excerpt)：

斜光照明下にある金属の表面を撮像して得られる画像に基づいて金属の表面状態を検査する金属表面の検査方法において、画像上でキズ欠陥のみが識別できる第1照明条件に調整して第1画像を撮像し、画像上でキズ欠陥とシミ欠陥とが識別できる第2照明条件に調整して第2画像を撮像し、撮像された第1画像と第2画像とに基づいて金属の表面状態を検査することを特徴とする金属表面の検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/88 , G01B 11/00 , G01B 11/30

FI (3)：

G01N 21/88 Z , G01B 11/00 H , G01B 11/30 A

F-Term (29)：

2F065AA49 , 2F065BB00 , 2F065BB25 , 2F065DD04 , 2F065FF04 , 2F065GG00 , 2F065GG02 , 2F065GG07 , 2F065GG24 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL03 , 2F065LL30 , 2F065NN01 , 2F065PP15 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065UU01 , 2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BB07 , 2G051BC03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051ED05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

異物検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-033801 Applicant：株式会社ニコン
表面検査方法及びその方法に使用する検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-121159 Applicant：富士ゼロックス株式会社
表面検査装置および表面検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-213115 Applicant：富士ゼロックス株式会社

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