固体表面を液状配合物で被覆する方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：倉内基弘 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000557927
Publication number (International publication number)：2002519195
Application date： Jul. 01, 1999
Publication date： Jul. 02, 2002
Summary：

【要約】可動の可調整セル組立体50がハウジング44内で移動できるよう、これらを連結する3個の回転可能なボールねじロッド66を含む支持手段により支持されたクロマトグラフカラム40である。各ロッド66は回転自在であるが長手方向には移動しないように基板64に取り付けられ、ボールねじナット78が各ロッド66に固定され、またハウジング44に固定されたフランジ60に固定されている。各ロッドには平歯車70が固定され、全ての平歯車70はリング歯車80により連動する。手動輪がロッド66に固定されて、全てのロッドを同時に同じ量だけ回転できるようになっている。

Claim (excerpt)：

a)液状配合物を脱気し;b)脱気の間に、液状配合物の粘度を実質的に保持し;c)約350〜760トルの実質的に一定の圧力雰囲気にある基板上に、工程b)の液状配合物を所与の量を供給し;そしてd)該基板を回転して脱気液状配合物を基板上に均一に分配することを包含する、溶媒を含む液状配合物を基板上に均一に分配する方法。

IPC (7)：

B05C 11/08 , B05C 11/00 , B05D 1/40 , B05D 3/02 , B05D 3/04 , B05D 3/12 , H01L 21/027

FI (7)：

B05C 11/08 , B05C 11/00 , B05D 1/40 A , B05D 3/02 , B05D 3/04 , B05D 3/12 , H01L 21/30 564 C

F-Term (31)：

4D075AC79 , 4D075AC95 , 4D075AC96 , 4D075BB14Z , 4D075BB56Y , 4D075BB57Y , 4D075BB69Y , 4D075BB93Y , 4D075CA48 , 4D075DA06 , 4D075DB11 , 4D075DC22 , 4D075EA05 , 4D075EA12 , 4D075EA45 , 4F042AA02 , 4F042AA07 , 4F042BA04 , 4F042BA06 , 4F042BA15 , 4F042BA25 , 4F042DF09 , 4F042DF32 , 4F042EB05 , 4F042EB09 , 4F042EB17 , 4F042EB24 , 4F042EB29 , 5F046JA02 , 5F046JA03 , 5F046JA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

レジスト塗布装置及びレジストの回転塗布方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-111133 Applicant：ソニー株式会社
薬液供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-336626 Applicant：ソニー株式会社

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