液晶表示装置及びその配線構造

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：武顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000050040
Publication number (International publication number)：2001242483
Application date： Feb. 25, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】銀(Ag)または銀(Ag)を主成分とした合金2と他の金属材料とを積層成膜し、1回のホトリソグラフィーの実施により配線パターンを形成するようにした配線構造を提供する。【解決手段】基板1上に形成された、複数本の第1の平行配線と、第1の平行配線に交差する複数本の第2の平行配線と、第1の平行配線及び第2の平行配線の各交点付近にあって対応する第1の平行配線及び第2の平行配線に接続された複数個の能動素子とを備え、第1の平行配線及び第2の平行配線の各一部または全部は、銀(Ag)または銀(Ag)を主成分とする合金2と、銀(Ag)よりも溶解反応の標準電極電位の低い金属またはその金属を主成分とする合金3との積層構造であって、1回のホトリソグラフィーの実施により形成した。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された、複数本の第1の平行配線と、前記第1の平行配線に交差する複数本の第2の平行配線と、前記第1の平行配線及び第2の平行配線の各交点付近にあって対応する前記第1の平行配線及び第2の平行配線に接続された複数個の能動素子とを備え、前記第1の平行配線及び第2の平行配線の各一部または全部は、銀または銀を主成分とする合金と、銀よりも溶解反応の標準電極電位の低い金属元素またはその金属元素を主成分とする合金との積層構造であって、1回のホトリソグラフィーの実施により形成したものであることを特徴とする液晶表示装置の配線構造。

IPC (5)：

G02F 1/1368 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 , G09F 9/35 , H01L 29/786

FI (5)：

G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 , G09F 9/35 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 C

F-Term (65)：

2H092GA25 , 2H092GA34 , 2H092HA03 , 2H092HA06 , 2H092HA12 , 2H092HA28 , 2H092JA24 , 2H092JB24 , 2H092JB33 , 2H092KB04 , 2H092MA13 , 2H092NA28 , 5C094AA04 , 5C094AA05 , 5C094AA13 , 5C094AA32 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA48 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB02 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EB02 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FA04 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094GB10 , 5C094JA01 , 5C094JA20 , 5F110AA03 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110EE15 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG45 , 5F110HK06 , 5F110HK21 , 5F110HK33 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110HM03 , 5F110NN02 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110QQ04 , 5F110QQ05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

電極基板およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-004471 Applicant：凸版印刷株式会社
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-022978 Applicant：株式会社日立製作所
表示装置用アレイ基板及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-061107 Applicant：株式会社東芝

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