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J-GLOBAL ID：200903016158303298

加工用ビームを用いた加工方法と装置

Inventor：
山口 作太郎

About 山口 作太郎


Applicant, Patent owner：
株式会社ワイ・ワイ・エル

About 株式会社ワイ・ワイ・エル


Agent (1)： 加藤 朝道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003293949
Publication number (International publication number)：2005059071
Application date： Aug. 15, 2003
Publication date： Mar. 10, 2005
Summary：
【課題】 加工用ビーム照射によるサンプルの切断/分割を容易化する方法と装置の提供。【解決手段】 加工用ビームを照射して、サンプルを切断するにあたり固定治具(102、103)を、サンプル(100)の切断/分割方向に直交する方向に沿った対向辺に当接配置するとともに、サンプル(100)の切断/分割方向に平行な対向辺には所定の間隙を保って固定治具(104、105)を配置する。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
加工用ビームを用いた被加工物の加工方法において、 前記被加工物を支持固定する固定治具を、前記加工用ビームの切断/分割方向への照射に伴い前記被加工物内に生じる熱応力を緩和しないように配置し、 前記加工用ビームを、前記被加工物の切断/分割方向に照射して、前記被加工物を切断/分割する、ことを特徴とする加工方法。
IPC (6)：
B23K15/00 ,  B23K15/08 ,  B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/10 ,  H01L21/301
FI (8)：
B23K15/00 504B ,  B23K15/00 508 ,  B23K15/08 ,  B23K26/00 320E ,  B23K26/06 E ,  B23K26/06 J ,  B23K26/10 ,  H01L21/78 B
F-Term (15)：
4E066AA01 ,  4E066BA05 ,  4E066BA12 ,  4E066BA13 ,  4E066BC09 ,  4E066BF07 ,  4E066CA14 ,  4E068AE01 ,  4E068CD03 ,  4E068CD05 ,  4E068CD10 ,  4E068CD14 ,  4E068CE08 ,  4E068CE09 ,  4E068DA10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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