ウエハの平坦化方法及び平坦化装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998065764
Publication number (International publication number)：1999265877
Application date： Mar. 16, 1998
Publication date： Sep. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】ウエハ表面のうねり等による凹凸を大きなダメージを与えることなく効果的に取り除いてウエハ表面を平坦化する。【解決手段】ウエハ1表面に存在する大きさ又は/及び高さの異なる凸部2a、2bに対して、ガス噴出用ノズル16よりエッチングガスを噴出して凸部をドライエッチングすることによりウエハ表面を平坦化する方法であり、凸部2a、2bの大きさ又は/及び高さに応じて、エッチングガスのガス噴出状態を異ならせる。

Claim (excerpt)：

ウエハ表面に存在する大きさ又は/及び高さの異なる凸部に対してガス噴出用ノズルよりエッチングガスを噴出し、該凸部をドライエッチングすることによりウエハ表面を平坦化するウエハの平坦化方法であって、前記凸部の大きさ又は/及び高さに応じて、前記エッチングガスのガス噴出状態を異ならしめることを特徴とするウエハの平坦化方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

プラズマエッチング法及びプラズマエッチング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-071011 Applicant：スピードファム株式会社
特開昭64-061918
特開平4-196559

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