カーボンナノファイバーの製造方法及びその装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：清水守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001021508
Publication number (International publication number)：2002220654
Application date： Jan. 30, 2001
Publication date： Aug. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】カーボンナノファイバーをスパッタリング法で基板上に高密度に直立配向させて形成することができるカーボンナノファイバーの製造方法及びその装置を提供する。【解決手段】 Niを蒸着し、部分エッチングを行った前処理基板1と、タングステンフィラメント2と、カーボンをスパッタ蒸着するRFマグネトロンスパッタ装置3,4,5とを具備する。

Claim (excerpt)：

(a)遷移金属を基板上へ蒸着し、部分エッチングを行う基板の前処理工程と、(b)高融点金属フィラメントを設置し、カーボンをスパッタすることにより、前記基板上にカーボンナノファイバーを高密度に直立配向させて形成する工程とを施すことを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法。

IPC (7)：

C23C 14/06 , B82B 1/00 , B82B 3/00 , C01B 31/02 101 , C23C 14/35 , D01F 9/12 , H01L 29/06 601

FI (7)：

C23C 14/06 F , B82B 1/00 , B82B 3/00 , C01B 31/02 101 F , C23C 14/35 Z , D01F 9/12 , H01L 29/06 601 N

F-Term (20)：

4G046CB03 , 4G046CC05 , 4G046CC06 , 4K029BA02 , 4K029BA09 , 4K029BA12 , 4K029BA34 , 4K029CA05 , 4K029DC35 , 4K029DC39 , 4K029FA01 , 4L037AT02 , 4L037CS03 , 4L037FA01 , 4L037FA05 , 4L037FA19 , 4L037PA03 , 4L037PA05 , 4L037UA04 , 4L037UA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いたカーボンナノチューブの低温合成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-178515 Applicant：李鉄真, 株式会社日進ナノテック
特開昭61-246357

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

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