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J-GLOBAL ID：200903016862365045
圧電体膜及び圧電アクチュエータ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999324775
Publication number (International publication number)：2001144341
Application date： Nov. 15, 1999
Publication date： May. 25, 2001
Summary：
【要約】【課題】 高い圧電特性を有する圧電体膜、及び、より大きな変位量を実現する圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 本発明の圧電体膜は、結晶が{221}面に優先配向している。前記結晶は疑似立方晶系であるか、又は疑似立方晶系、菱面体晶系若しくは正方晶系のうち少なくとも二つの混在である。特に、ABO3型のペロブスカイト結晶構造を有することが望ましく、とりわけ、BTO、PZT、PMN-PT、又はPZN-PTが望ましい。この結晶は、基板上において{221}面方位にエピタキシャル成長して形成される。
Claim (excerpt)：
結晶が{221}面に優先配向していることを特徴とする圧電体膜。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 41/08 C
, H01L 41/18 101 D
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (3)
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