塩化第二鉄エッチング液の銅濃度分析方法及び分析装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997028757
Publication number (International publication number)：1998227742
Application date： Feb. 13, 1997
Publication date： Aug. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】塩化第二鉄エッチング液の液中の銅濃度をエッチングの作業現場で直接測定するための分析方法及び分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】エッチング装置から塩化第二鉄エッチング液を一定量サンプリングするサンプリング手段10と、サンプリングした塩化第二鉄エッチング液を塩酸21及び純水22で段階的に希釈し希釈液を作製する希釈液作製手段20と、前記希釈液に試薬供給系31より塩酸ヒドロキシルアミン、バソクプロインスルホン酸ナトリウム及び酢酸ナトリウムと純水32を順次加えて銅イオンを発色させる反応液作製手段30と、前記反応液の吸光度を波長480nm付近で測定する吸光度測定手段40と、あらかじめ入力された検量線から銅イオン濃度を演算して銅濃度を検出する銅濃度演算手段50と、各手段を駆動制御する制御手段60とから構成されている分析装置で塩化第二鉄エッチング液の銅濃度を分析する。

Claim (excerpt)：

銅材をエッチング中のエッチング装置から塩化第二鉄エッチング液をサンプリングして塩酸及び純水で段階的に希釈して希釈液を作製し、前記希釈液に塩酸ヒドロキシルアミン、純水、バソクプロインスルホン酸ナトリウム及び酢酸ナトリウムを順次加えて反応液を作製し、前記反応液の吸光度を波長480nm付近で測定し、前記吸光度をもとにあらかじめ入力された検量線から銅イオン濃度を演算して銅濃度を算出することを特徴とする塩化第二鉄エッチング液の銅濃度分析方法。

IPC (5)：

G01N 21/78 , C23F 1/00 , C23F 1/46 , G01N 31/00 , H01L 21/308

FI (5)：

G01N 21/78 C , C23F 1/00 A , C23F 1/46 , G01N 31/00 T , H01L 21/308 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-276082
特開平4-276082
エッチング液再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-109309 Applicant：富士電機株式会社

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