ウェーハの供給・排出装置および供給・排出方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：綿貫隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994294638
Publication number (International publication number)：1996153771
Application date： Nov. 29, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】カセットに一方の面が上側となるように収納されたウェーハを、そのウェーハの一方の面を保護しつつ反転して保持装置に供給でき、その保持装置に保持されたウェーハの一方の面を保護しつつカセットに収納できること。【構成】一方の面が下側となるようカセット16に収納されたウェーハ12の一方の面に接してウェーハ12を吸着して取り出す吸着アーム14と、吸着アーム14を回動させ、一方の面が上側となるようにウェーハ12を反転させる反転機構34と、吸着アーム14および反転機構34を移動させ、ウェーハ12が保持装置10によって保持される保持位置へウェーハ12を送る送り機構12と、送り機構12によって保持位置に送られたウェーハ12の外周側面に側方から当接してウェーハ12を所定の位置にセンタリングすると共に受け取る位置決め部材22bを有するセンタリング機構22とを具備する。

Claim (excerpt)：

ウェーハの一方の面を上側にして該一方の面に接して該ウェーハを吸着保持する保持装置へ該ウェーハを供給するウェーハの供給装置において、前記一方の面が下側となるようカセットに収納されたウェーハの該一方の面に接して該ウェーハを吸着して取り出す吸着部材と、前記吸着部材を回動させ、一方の面が上側となるようにウェーハを反転させる反転機構と、前記吸着部材および反転機構を移動させ、ウェーハが前記保持装置によって保持される保持位置へ該ウェーハを送る送り機構と、該送り機構によって保持位置に送られた前記ウェーハの外周側面に側方から当接して該ウェーハを所定の位置にセンタリングすると共に受け取る位置決め部材を有するセンタリング機構とを具備することを特徴とするウェーハの供給装置。

IPC (5)：

H01L 21/68 , B23P 19/00 302 , B23Q 7/04 , B24B 37/04 , H01L 21/304 321

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

半導体ウエハの移送機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-282014 Applicant：芝山機械株式会社
ウエーハチヤツクおよびウエーハ搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-213391 Applicant：株式会社日立製作所
プリント基板等の薄板状物品の移送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-043945 Applicant：ローム株式会社

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