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J-GLOBAL ID：200903017238670123

保護装置、モータ装置、ステージ装置、および露光装置

Inventor：
島村 尚孝

About 島村 尚孝


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004109910
Publication number (International publication number)：2005295738
Application date： Apr. 02, 2004
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：
【課題】 本発明は、負荷装置の温度上昇を的確に推定して、過負荷状態を判断できる保護装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、負荷装置を保護するための保護装置であって、次の熱推定部、温度推移模擬部、および保護部を備える。熱推定部は、負荷装置への供給電流に基づいて負荷装置に発生する熱を推定する。温度推移模擬部は、熱推定部により推定される熱と、予め定められる負荷装置の熱回路モデルに基づいて、負荷装置の温度の推移をシミュレーションする。保護部は、温度推移模擬部により推定される温度に応じて、負荷装置への供給電流を制限する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
負荷装置を保護するための保護装置であって、 前記負荷装置への供給電流に基づいて前記負荷装置に発生する熱を推定する熱推定部と、 前記熱推定部により推定される熱と、予め定められる前記負荷装置の熱回路モデルとに基づいて、前記負荷装置の温度の推移をシミュレーションする温度推移模擬部と、 前記温度推移模擬部により推定される温度に応じて、前記負荷装置への前記供給電流を制限する保護部と を備えたことを特徴とする保護装置。
IPC (3)：
H02H7/085 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (3)：
H02H7/085 E ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 503A
F-Term (11)：
2H097BA03 ,  5F046CC20 ,  5F046DA26 ,  5F046DA30 ,  5G044AA01 ,  5G044AC05 ,  5G044AD01 ,  5G044AE01 ,  5G044CA11 ,  5G044CC01 ,  5G044CE07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (4)
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