電子装置の表面信号操作用融着プローブ及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：三木久巳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999116940
Publication number (International publication number)：2000249712
Application date： Mar. 19, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】走査型プローブ顕微鏡に使用できる高分解能で高剛性・高曲げ弾性のプローブを実現し、高分解能の表面原子像を撮像する。また、高密度の磁気情報処理装置や電子装置に使用できる高精度の処理用プローブを実現する。【解決手段】本発明に係る電子装置の表面信号操作用プローブは、ナノチューブ24を保持させるホルダー2aと、先端部24aを突出させた状態でその基端部24bをホルダー面に融着させたナノチューブ24とから構成され、前記ナノチューブ24の先端部24aを探針として使用する。ナノチューブは融着によりホルダーに強固に固着しているから、外れることが無く長寿命である。しかもナノチューブは先端曲率半径が小さいから、高分解能で信号を操作でき、剛性や曲げ弾性が高いために破損しにくい。

Claim (excerpt)：

ナノチューブ24を保持させるホルダー2aと、先端部24aを突出させた状態でその基端部24bをホルダー面に融着させたナノチューブ24とから構成され、前記ナノチューブの先端部24aを探針として表面信号を操作することを特徴とする電子装置の表面信号操作用融着プローブ。

IPC (3)：

G01N 37/00 , C01B 31/02 101 , G11B 5/127

FI (6)：

G01N 37/00 C , G01N 37/00 G , G01N 37/00 Y , C01B 31/02 101 F , G11B 5/127 A , G11B 5/127 F

F-Term (5)：

4G046CA00 , 4G046CB00 , 4G046CB08 , 5D093AA03 , 5D093AC20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

カーボンナノチューブを用いた陰極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-145556 Applicant：日本電気株式会社
記録再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-052363 Applicant：キヤノン株式会社
ナノチューブ、ナノチューブプローブ及びそれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-173106 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社

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