オゾン発生設備およびその運転方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：篠部正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999354650
Publication number (International publication number)：2001172005
Application date： Dec. 14, 1999
Publication date： Jun. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】オゾン発生装置の運転中に生成したオゾンの濃度低下を防止して運転性能の安定化を図る。【解決手段】液体酸素設備Aから供給される高純度の酸素ガスをオゾン発生装置Bに導いてオゾン化するオゾン発生設備に対し、液体酸素設備から供給される酸素ガスに空気(もしくは窒素ガス)を混合してオゾン発生装置に送り込む空気源Cを組合せ、オゾン発生装置の運転中に、酸素ガスに空気,もしくは窒素ガスを間欠的,ないしは継続的にに混合してオゾン発生装置に送り込む。これにより、酸素分子の解離効率を高めてオゾン濃度が増加するとともに、同時に生成した窒素酸化物がオゾン発生管の電極表面に付着した水分と結合してオゾンの分解を抑制し、その結果としてオゾン発生装置を長時間連続運転した場合でもオゾンの濃度低下を防止して安定した運転性能が発揮できる。

Claim (excerpt)：

液体酸素設備と、オゾン発生装置とを有し、液体酸素設備から供給される高純度の酸素ガスをオゾン発生装置に導いてオゾン化するオゾン発生設備において、液体酸素設備から供給される酸素ガスに空気,もしくは窒素ガスを混合してオゾン発生装置に送り込む空気源,もしくは窒素源を備えたことを特徴とするオゾン発生設備。

F-Term (5)：

4G042CA01 , 4G042CB01 , 4G042CC03 , 4G042CC13 , 4G042CE04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

オゾンガス配管における金属不純物低減方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-331654 Applicant：住友精密工業株式会社
オゾン発生設備及びオゾン発生装置用酸素/窒素混合気体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-277447 Applicant：三菱電機株式会社
特開平3-218905

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