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J-GLOBAL ID：200903017424390971

隔壁形成方法

Inventor：
高木 良博

About 高木 良博


Applicant, Patent owner：
富士フイルムオーリン株式会社

About 富士フイルムオーリン株式会社


Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998159394
Publication number (International publication number)：1999352699
Application date： Jun. 08, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：
【要約】【課題】 プラズマディスプレイ用の感光性組成物の現像処理に際して、パターンが崩れることなく、パターン部分は完全に現像され、非パターン部分は完全に除去されて高さと精度が十分なプラズマディスプレー用の隔壁の形成が可能な方法を提供する。【解決手段】 基板上に厚み15〜300ミクロンに塗布されてパターン状に露光された無機微粒子含有感光性組成物に、水またはアルカリ水溶液を加圧噴射して溶解残渣も噴射圧で除去しながら現像する工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレー用の隔壁形成方法。
Claim (excerpt)：
基板上に厚み10ミクロン以上に塗布されてパターン状に露光された無機微粒子含有感光性組成物に、水またはアルカリ水溶液を加圧噴射して現像する工程を含むことを特徴とする隔壁形成方法。
IPC (6)：
G03F 7/30 ,  G03F 7/004 501 ,  G09F 9/30 324 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  G02F 1/1333
FI (6)：
G03F 7/30 ,  G03F 7/004 501 ,  G09F 9/30 324 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  G02F 1/1333
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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